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Introduction：
Features & Applications
■ 产品简介
真空传感器是采用不锈钢材质的多级波纹管专门设计而成。因其内部是处于超高真空条件下的密封状态，固不会受到气压变动的影响。适用于半导体制造装置、化学分析装置、真空蒸镀装置由于可以防水防尘，因此可以在环境不好的室外和危险的环境下放心使用。而且装有3P接线柱可以适用外径7～11φ有橡胶附着的电线 。
■使用流体
空气、气体
■额定功率
AC250V 2.5ADC100V 0.5A AC125V 5ADC24V 2.5A
■使用温度
-20～+60℃
■端口尺寸
Rc1/4, 3/8, G1/4,3/8 Flange (PCD10, OD90φ)
■绝对压力下真空操作
设定值可调范围 |
1.3-100 |
压差 |
2.7-8.0 |
耐受压力 |
300 |
标准设定值 |
2.0-4.7 |
■结构
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